电感耦合等离子体质谱仪是一种高精度、高灵敏度的分析仪器，其工作原理基于电感耦合等离子体技术和质谱分析技术的结合。首先，通过雾化器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化并解离出离子化气体。这些离子经过取样锥进入低真空环境中形成分子束，再经过四极质谱分析器进行质量分离，最终到达离子探测器。根据探测器的计数与浓度的比例关系，可以测出元素的含量或同位素比值。
1、实验室环境维护：
温度控制：保持实验室温度在15℃~35℃，理想温度为18℃~21℃，且温度变化小于2.0℃。温度过高或过低都可能影响仪器的性能和稳定性，例如温度过高可能导致部分电子元件过热，影响其正常工作；温度过低则可能使仪器内部的液体出现凝固等问题。
湿度管理：湿度应控制在20%~80%，理想湿度为50%。湿度过高容易引发仪器内部的电子器件受潮、生锈等问题，还可能导致电路板短路；湿度过低则可能产生静电，干扰仪器的正常运行。
海拔高度考虑：适于海拔2000m以下使用，高海拔地区可能会因为气压变化影响仪器的进样系统和真空系统等。
远离干扰源：实验室应远离热源、冷源、腐蚀性气体，避免风直吹，保持室内清洁。热源和冷源可能会引起仪器温度的不稳定，腐蚀性气体会腐蚀仪器的部件，风直吹可能导致仪器内部气流紊乱，影响分析结果。
2、进样系统维护：
蠕动泵：试样引入蠕动泵管的好坏直接影响信号的稳定性，所以应经常检查、定期更换。建议一星期更换一次（工作时间大约为40h）。排废液管使用期限可能长一些，但也必须经常检查，以防排废不畅，引起雾室内废液聚集，影响信号并最终导致等离子体熄火。同时，如果蠕动泵管老化破裂，酸溶液会将其腐蚀。仪器运行期间可以观察进样管和排废管内的气泡以判断进出是否正常。如果喷入高浓度的有机溶剂，应该换成有机溶剂专用泵管。分析完毕，切记要松开泵管。
雾化器：由于雾化器中心的毛细管口径非常小，要求样品要溶解c底，不得含有沉淀或漂浮物，如果有少量沉淀要用滤膜进行过滤，否则容易堵塞雾化器。结盐可采用5%稀酸溶液或温水浸泡12小时。堵塞时可采用氩气或者注射器反吹，严禁用金属丝、超声波清洗器处理，安装时不要过紧，否则容易造成灵敏度低，甚至损坏雾化器。在用普通进样系统时，不得含有HF或氟化物，否则容易损坏矩管和雾化器。如果需要分析此类样品，需更换耐HF进样系统。雾化器和雾化室应定期清洗，同心气动雾化器最好不要采用超声波清洗或放在玻璃烧杯中煮沸清洗，以免损坏雾化器内的注入管。交叉气动雾化器可以采用超声波清洗，清洗液可根据情况采用一般清洗玻璃器皿的洗液，或一定浓度的热王水或硝酸、盐酸浸泡清洗，最后用去离子水充分洗净。注意不要让雾室的“O”形密封环接触到酸液。如雾化室内壁出现挂水珠现象，一般可连续1min喷入1%的氢氟酸，但刚喷完后不能立刻分析硼、硅等元素。同心雾化器容易出现堵塞现象，仪器运行期间注意观察内标元素的信号，如信号明显降低，则可能是漏气或雾化器损坏。
中心管：中心管应浸泡在20%的硝酸溶液中24小时进行清洗。
雾化室：玻璃雾化室可采用20%的硝酸溶液浸泡清洗。雾化室一般比较稳定，通常属于免维护部件。
3、炬管与锥维护：
炬管：每月拆下来清洗一次。如果点火困难，火焰呈黄色，可能是雾化室脏了，需要清洗；如果火焰呈橙色且仪器真空正常，可能是锥脏了，需要清洗锥。
锥：锥的拆卸和安装较为复杂，一般由有经验的工程师进行操作。在拆卸过程中，要注意标记好各个部件的位置和方向，以便正确安装。安装时要确保各个部件连接紧密，避免漏气。
4、仪器内部维护：
电路板和电子元件：定期检查电路板上的电子元件是否有松动、老化或损坏的情况，及时进行紧固、更换或修复。对于电路板上的灰尘和污垢，可以使用无纺布或软毛刷轻轻清理，避免使用压缩空气或化学清洁剂，以免对电路板造成损害。
机械部件：仪器的机械部件如泵、阀门、传动装置等也需要定期检查和维护。检查泵的运转是否正常，有无异常声音或振动；阀门是否开关灵活，有无泄漏；传动装置是否运转平稳，有无卡顿或磨损等情况。对于出现问题的机械部件，要及时进行维修或更换。
5、软件系统维护：
操作系统和应用程序：定期对仪器的操作系统和应用程序进行更新和升级，以保证其功能的正常发挥和安全性。同时，要定期备份重要的数据和配置文件，以防止数据丢失或损坏。
参数设置和校准：在使用过程中，要根据样品的特性和分析需求，合理设置仪器的参数。定期对仪器进行校准，确保分析结果的准确性和可靠性。校准包括质量校准、灵敏度校准、分辨率校准等。
6、日常操作注意事项：
开机顺序：先开载气，再开冷却水，后开主机电源；关机则相反。正确的开机顺序可以确保仪器的各个部件在合适的条件下启动和运行，避免因操作不当导致的故障。
进样要求：进样前必须进行充分的预处理，如过滤、稀释等，去除样品中的杂质和颗粒物，防止堵塞和污染仪器。同时，要注意样品的浓度和性质，避免对仪器造成损害。
