电感耦合等离子体质谱仪是一种高精度、高灵敏度的分析仪器，其工作原理基于电感耦合等离子体技术和质谱分析技术的结合。首先，通过雾化器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化并解离出离子化气体。这些离子经过取样锥进入低真空环境中形成分子束，再经过四极质谱分析器进行质量分离，最终到达离子探测器。根据探测器的计数与浓度的比例关系，可以测出元素的含量或同位素比值。
1、环境领域
水质监测：可用于检测地表水、海水、饮用水中的重金属元素，如铜、铅、镉、汞、铬等，以及一些非金属元素和阴离子，帮助评估水体的污染状况和水质安全。例如，在监测河流、湖泊的水质时，能够快速准确地测定其中的各种痕量元素含量，为环境保护和水资源管理提供依据。
大气监测：分析大气中的颗粒物、气溶胶中的元素组成，有助于了解大气污染的来源和程度，比如对工业排放、汽车尾气等造成的大气污染进行研究。
土壤分析：测定土壤中的各种微量元素，包括重金属元素和营养元素等，对于评估土壤质量、土壤污染状况以及农业生产等方面具有重要意义。
2、食品安全领域
食品中的元素检测：可检测食品中的多种元素，如粮食、蔬菜、水果、肉类、奶制品等中的营养成分（如钙、铁、锌、硒等）和有害元素（如铅、镉、汞、砷等），确保食品的安全性和营养价值。例如，通过检测大米中的重金属含量，可以保障消费者的健康；同时也可以对食品中的矿物质营养元素进行检测，为食品的营养标签提供准确数据。
食品添加剂和污染物检测：用于检测食品中的添加剂、农药残留、兽药残留等物质中的金属元素，确保食品符合相关的质量和安全标准。
3、地质领域
岩石和矿物分析：对岩石、矿石等样品中的微量元素进行分析，帮助地质学家了解地球的内部结构和演化过程，寻找矿产资源。例如，在金矿勘探中，可以通过ICP-MS测定矿石中的金含量及其他伴生元素的浓度，为选矿和冶炼提供依据。
地质年代测定：利用同位素比值测定技术，对地质样品中的放射性同位素进行分析，确定岩石、化石等的年龄，为地质研究提供重要的时间尺度。
4、生物医学领域
临床诊断：检测人体生物样本（如血液、尿液、头发等）中的微量元素和重金属元素，用于疾病的诊断和治疗监测。例如，通过检测血液中的铅含量，可以辅助诊断铅中毒；检测血液中的微量元素水平，可以帮助诊断某些营养缺乏症或代谢性疾病。
药物研发：在药物研究和开发过程中，用于分析药物中的金属杂质，确保药品的质量和安全性；同时也可以研究药物与金属元素之间的相互作用，为药物的设计和优化提供参考。
生物样本的元素成像：结合激光剥蚀等技术，可以实现对生物组织切片中的元素分布进行成像分析，为生命科学的研究提供新的方法和手段。
5、核领域
核材料分析：对核燃料、核废料等核材料中的同位素组成和元素含量进行分析，确保核材料的安全使用和管理。例如，在核电站的运行过程中，需要对核燃料棒中的铀、钚等元素的同位素比例进行精确测定，以评估核燃料的燃耗情况。
核科学研究：在核物理和核化学的研究中，用于研究原子核的反应过程和核结构的相关信息。
6、半导体领域
半导体材料分析：检测半导体材料中的杂质元素和掺杂元素的含量，确保半导体材料的高纯度和性能。例如，在硅芯片的制造过程中，需要严格控制其中的杂质元素含量，以保证芯片的性能和可靠性。
半导体工艺监控：在半导体生产的各个环节中，对工艺溶液中的金属离子进行监测，防止金属杂质的引入，提高半导体产品的质量和良率。
